以00級大理石為基準面,，將工作臺按照圖紙要求固定在大理石上,，用打表的方法在00級大理石方箱進行找正,，如圖2所示,。 依據(jù)表頭指針的的讀數(shù)，導軌在豎直面內直線度較好，偏差僅有5μm,，但在水平面內有來回擺動的趨勢,。相比較而言，誤差在水平面比較敏感,。試驗中導軌從一極限位置開始,，運動140 mm，導軌在水平面內的運動軌跡如表1和圖3所示,。 該測量儀是依據(jù)鏡頭捕捉被測工作的位置,，由光柵尺讀取所測工件的長度。導軌在移動過程中呈現(xiàn)往復擺動,，進而使固定在移動滑臺上的鏡頭往復擺動,，會造成所測結果偏大或偏小。試驗中選取長度為80 mm的標準量塊,，在不同位置測量誤差相差一百多微米,。